Vorrichtung, Verfahren und Programm zur Formvermessung, sowie Strukturobjektherstellungssystem

EP3023736 Art B1 28. März 2018

Anmelder: Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3023736
Aktenzeichen: EP14826285
Anmeldetag: 17. Juli 2014
Veröffentlichung: 28. März 2018
Erteilung: 28. März 2018
Rechtsraum: EP
IPC: G01B11/24G01B11/25

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: Nikon Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

3.320 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

Vertreten von