Vorrichtung und Verfahren zur Spektroskopischen Ellipsometrie, insbesondere zur Spektroskopischen Infrarot-Ellipsometrie

EP3026422 Art B1 14. Februar 2018

Anmelder: Universität Stuttgart 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3026422
Aktenzeichen: EP14003984
Anmeldetag: 26. November 2014
Veröffentlichung: 14. Februar 2018
Erteilung: 14. Februar 2018
Rechtsraum: EP
IPC: G01N21/21G01N21/65G01B9/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Firma: Universität Stuttgart
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Universität Stuttgart

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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