Vorrichtung zur Messung der Verteilung von Statischer Elektrizität und Verfahren zur Messung der Verteilung von Statischer Elektrizität

EP3026448 Art B1 4. September 2019

Anmelder: National Institute of Advanced Industrial Science and Technology 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3026448
Aktenzeichen: EP14830086
Anmeldetag: 13. März 2014
Veröffentlichung: 4. September 2019
Erteilung: 4. September 2019
Rechtsraum: EP
IPC: G01R29/12G01R29/24G01V3/08H01L21/66

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: National Institute of Advanced Industrial Science and Technology
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 National Institute of Advanced Industrial Science and Technology

Staatliches japanisches Forschungsinstitut (AIST), das breit angelegte angewandte Forschung in Bereichen wie Materialwissenschaft, Energie, Elektronik und Biotechnologie betreibt.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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