Positionsbestimmungsvorrichtung, Positionsbestimmungsverfahren, Lithografische Vorrichtung und Verfahren zur Herstellung eines Objekts
EP3026491
Art B1
1. November 2023
Anmelder: CANON KABUSHIKI KAISHA 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3026491
- Aktenzeichen
- EP15196752
- Anmeldetag
- 27. November 2015
- Veröffentlichung
- 1. November 2023
- Erteilung
- 1. November 2023
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F9/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- CANON KABUSHIKI KAISHA
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Canon
Japanischer Konzern mit Sitz in Tokio, der Kameras, Objektive, Drucker, Kopiergeräte sowie optische und medizinische Bildgebungstechnik entwickelt und herstellt.
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Fachgebiete
Weitere Vertreter
-
Canon Europe Limited
Canon Europe Limited · Uxbridge