Polierkissen mit Niedriger Dichte

EP3027363 Art B1 15. Januar 2020

Anmelder: Cabot Microelectronics Corporation, Nexplanar Corporation 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3027363
Aktenzeichen
EP14747270
Anmeldetag
17. Juli 2014
Veröffentlichung
15. Januar 2020
Erteilung
15. Januar 2020
Rechtsraum
EP
IPC
B24B37/24
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firmen
Cabot Microelectronics Corporation
Nexplanar Corporation
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Cabot Microelectronics

Cabot Microelectronics war ein US-amerikanischer Hersteller von Polierchemikalien für die Halbleiterfertigung und ist heute Teil von Entegris. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Farben, Klebstoffe und Brennstoffe sowie Halbleiterbauelemente, mit Bezug zur Werkzeug- und Fertigungstechnik. Die Anmeldungen bis 2019 betreffen unter anderem CMP-Zusammensetzungen für die Chip-Planarisierung.

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