Wässrige Formulierungen zur Entfernung von Metallhartmasken und Rückständen nach dem Ätzen mit Cu/w-Kompatibilität
EP3027709
Art A1
8. Juni 2016
Anmelder: Entegris, Inc., Advanced Technology Materials, Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3027709
- Aktenzeichen
- EP14832434
- Anmeldetag
- 31. Juli 2014
- Veröffentlichung
- 8. Juni 2016
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/3213H01L21/02// H01L21/311
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Entegris, Inc.
Advanced Technology Materials, Inc. - Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Entegris
US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.
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Madrid, Spanien
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Greaves Brewster LLP · Cheddar