Strahlungsempfindliche Harzzusammensetzung, Verfahren zur Bildung einer Lackstruktur, Polymer und Verbindung

EP3029524 Art A1 8. Juni 2016

Anmelder: JSR Corporation, JICC-02 Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3029524
Aktenzeichen: EP14832692
Anmeldetag: 9. Juli 2014
Veröffentlichung: 8. Juni 2016
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/039C08F220/10G03F7/004H01L21/027

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: JSR Corporation
JICC-02 Co., Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 JSR Corporation

JSR Corporation ist ein japanisches Chemieunternehmen, das synthetische Kautschuke sowie Materialien für die Halbleiter- und Displayindustrie herstellt.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Kunststoff- & Polymertechnik Optik & Fototechnik

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