Ziel zur Röntgenstrahlerzeugung und Röntgenstrahlerzeugungsvorrichtung

EP3029708 Art A1 8. Juni 2016

Anmelder: Tokyo Electron Limited 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3029708
Aktenzeichen: EP14832145
Anmeldetag: 8. Juli 2014
Veröffentlichung: 8. Juni 2016
Rechtsraum: EP
IPC: H01J35/08H01J35/14

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Tokyo Electron Limited
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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