Substratverarbeitungsverfahren und Aufzeichnungsmedium
Anmelder: Merck Patent GmbH, AZ Electronic Materials (Luxembourg) S.à.r.l., Hitachi Kokusai Electric Inc. 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3029718
- Aktenzeichen
- EP14831930
- Anmeldetag
- 28. Juli 2014
- Veröffentlichung
- 4. Mai 2022
- Erteilung
- 4. Mai 2022
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/02H01L21/312H01L21/316H01L21/67
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Merck Patent GmbH
AZ Electronic Materials (Luxembourg) S.à.r.l.
Hitachi Kokusai Electric Inc. - Land
- 🇩🇪 Deutschland
Deutsches Pharma- und Chemieunternehmen mit Sitz in Darmstadt. Aktiv in Biopharmazeutika, Life-Science-Technologien sowie elektronischen Materialien für Halbleiter- und Displayindustrie. Nicht zu verwechseln mit dem US-Unternehmen Merck & Co.
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Japanischer Konzern, der Technik für Energie, Bahn, Industrieanlagen, Informationstechnik und Haushaltsgeräte entwickelt und herstellt.
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Fachgebiete
Mannheimer Patentanwaltskanzlei mit fachlich-wissenschaftlichem Team in Chemie, Verfahrenstechnik, Polymeren und Kunststofftechnik, Biotech, Pharma und Life Sciences, Mechanik und Optik sowie Elektrotechnik, Digital und KI.