Polierwerkzeug und Verarbeitungsverfahren für ein Element

EP3031577 Art A1 15. Juni 2016

Anmelder: Fujimi Incorporated 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3031577
Aktenzeichen: EP14834968
Anmeldetag: 6. August 2014
Veröffentlichung: 15. Juni 2016
Rechtsraum: EP
IPC: B24B9/00B24B37/11B24D13/12H01L21/304

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Fujimi Incorporated
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Fujimi

Fujimi ist ein japanischer Hersteller von Poliermitteln, vor allem für die Halbleiterindustrie. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Farben und Klebstoffe sowie Halbleiterbauelemente und Fertigungstechnik. Anmeldungen sind seit 2000 dokumentiert.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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