Fördervorrichtung
Anmelder: Silcotek Corp., Aixtron SE 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3031949
- Aktenzeichen
- EP15196086
- Anmeldetag
- 24. November 2015
- Veröffentlichung
- 6. März 2024
- Erteilung
- 6. März 2024
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C23C14/56C23C16/44
Abstract
A delivery device, manufacturing system, and process of manufacturing are disclosed. The delivery device includes a feed tube and a chemical vapor deposition coating applied over an inner surface of the feed tube, the chemical vapor deposition coating being formed from decomposition of dimethylsilane. The manufacturing system includes the delivery device and a chamber in selective fluid communication with the delivery device. The process of manufacturing uses the manufacturing system to produce an article.
Anmelder
- Firmen
- Silcotek Corp.
Aixtron SE - Land
- 🇺🇸 USA
Aixtron ist ein deutscher Hersteller von Depositionsanlagen für die Halbleiterindustrie. Der Patentbestand konzentriert sich auf Metallurgie und Oberflächentechnik sowie Halbleiterbauelemente, ergänzt durch Verfahrens- und Messtechnik. Die Anmeldungen aus 2000 bis 2025 betreffen unter anderem die Reinigung und den Betrieb von CVD-Reaktoren.
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Fachgebiete
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