Flüssigkeitsimmersionsbelichtungsvorrichtung und -Verfahren, und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung

EP3032572 Art A1 15. Juni 2016

Anmelder: Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3032572
Aktenzeichen: EP15199243
Anmeldetag: 24. Mai 2004
Veröffentlichung: 15. Juni 2016
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/027G03F7/20G03F9/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Nikon Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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