Verfahren zur Herstellung von Titan-Dotiertem Kieselglas für den Einsatz in der Euv-Lithographie

EP3033306 Art B8 16. August 2017

Anmelder: Heraeus Quarzglas GmbH & Co. KG 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3033306
Aktenzeichen
EP14744804
Anmeldetag
22. Juli 2014
Veröffentlichung
16. August 2017
Erteilung
16. August 2017
Rechtsraum
EP
IPC
C03B19/14C03B20/00C03C3/06
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Heraeus Quarzglas GmbH & Co. KG
Land
🇩🇪 Deutschland
🇩🇪 Heraeus Quarzglas

Deutscher Hersteller von Quarzglas, das für optische Komponenten, Halbleiterfertigung, Beleuchtung und industrielle Anwendungen wie Lichtwellenleiter und Hochtemperaturprozesse eingesetzt wird.

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Kanzlei
Patentanwalt Armin Staudt Hanau, Deutschland

Sammelte erste Berufsjahre in der Industrie, ab 1990 patentanwaltliche Ausbildung bei einem Hanauer Technologieunternehmen, seit 2004 ausschließlich eigene Kanzlei in Hanau. Berät zu Patenten, Gebrauchsmustern, Marken und Designs mit anwendungsnahem, industriegeprägtem Ansatz.

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