Siliciumimplantation in Substrate und Bereitstellung von Siliciumvorläuferzusammensetzungen dafür
EP3033765
Art A1
22. Juni 2016
Anmelder: Entegris, Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3033765
- Aktenzeichen
- EP14836344
- Anmeldetag
- 14. August 2014
- Veröffentlichung
- 22. Juni 2016
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/265
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Entegris, Inc.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Entegris
US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.
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Fachgebiete
Vertreten von
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Greaves Brewster LLP
Greaves Brewster LLP · Cheddar
-
Awapatent AB
Awapatent AB · Helsingborg