Nasschemische Kupfermetallfüllung in Grabenmuster mithilfe einer harten Maskenstruktur
Anmelder: MKS IP Association, Atotech Deutschland GmbH 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3034655
- Aktenzeichen
- EP14199374
- Anmeldetag
- 19. Dezember 2014
- Veröffentlichung
- 22. Juni 2016
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C25D7/12C25D3/38C25D5/02C25D5/48C23C18/16C23C18/40H01L21/288
Abstract
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Anmelder
- Firmen
- MKS IP Association
Atotech Deutschland GmbH - Land
- 🇩🇪 Deutschland
Der Anmelder MKS IP Association ist eine in Deutschland ansässige Patentverwertungsgesellschaft. Das Portfolio konzentriert sich auf Metallurgie und Oberflächentechnik sowie Elektronik- und Halbleitertechnik, etwa im Bereich industrieller Reinigungs- und Beschichtungsprozesse. Anmeldungen erfolgten von 2000 bis 2020.
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Atotech Deutschland ist ein deutscher Anbieter von Oberflächenveredelungschemie, unter anderem für die Elektronik- und Halbleiterindustrie, und gehört zum US-Konzern MKS Instruments. Das Patentportfolio konzentriert sich deutlich auf Metallurgie und Oberflächentechnik, ergänzt durch Elektronik und Halbleitertechnik. Anmeldungen erstrecken sich von 2000 bis 2025.
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