Substrathalter für Vertikale, Galvanische Metallabscheidung

EP3034657 Art B1 27. Februar 2019

Anmelder: MKS IP Association, Atotech Deutschland GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3034657
Aktenzeichen
EP14199449
Anmeldetag
19. Dezember 2014
Veröffentlichung
27. Februar 2019
Erteilung
27. Februar 2019
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/288H01L21/67H01L21/687C25D17/00C25D17/06
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firmen
MKS IP Association
Atotech Deutschland GmbH
Land
🇩🇪 Deutschland

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik
Vertreten von
Wonnemann, Jörg Berlin, Deutschland
124
Patente gesamt
10
Fachgebiete
2
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente Elektronik & Schaltungstechnik Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Anorganische Chemie & Werkstoffe Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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Weitere Vertreter
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