Monomer, Polymer, Resistzusammensetzung und Musterungsverfahren
EP3035121
Art B1
13. März 2019
Anmelder: Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3035121
- Aktenzeichen
- EP15200064
- Anmeldetag
- 15. Dezember 2015
- Veröffentlichung
- 13. März 2019
- Erteilung
- 13. März 2019
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/004C08F220/20
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Shin-Etsu Chemical
Japanisches Chemieunternehmen mit Sitz in Tokio. Shin-Etsu Chemical stellt Siliziumwafer für Halbleiter, Silikonprodukte, PVC und weitere Spezialchemikalien für Elektronik-, Bau- und Industrieanwendungen her.
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Fachgebiete
Vertreten von
Merkle, Gebhard
München, Deutschland
721
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Ter Meer Steinmeister & Partner
Ter Meer Steinmeister & Partner · München