Verfahren zur Feinleiterherstellung

EP3035122 Art B1 20. März 2019

Anmelder: MKS IP Association, Atotech Deutschland GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3035122
Aktenzeichen: EP14198263
Anmeldetag: 16. Dezember 2014
Veröffentlichung: 20. März 2019
Erteilung: 20. März 2019
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/20G03F7/09G03F7/095G03F7/11H01L21/283H01L21/285H01L21/288H01L21/768

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firmen: MKS IP Association
Atotech Deutschland GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

Vertreten von

Wonnemann, Jörg Berlin, Deutschland

124

Patente gesamt

10

Fachgebiete

2

Anmelder-Länder

Schwerpunkte

Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente Elektronik & Schaltungstechnik Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Anorganische Chemie & Werkstoffe Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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Weitere Vertreter

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