Plasmabehandlungsverfahren

EP3035369 Art B1 25. November 2020

Anmelder: IMEC VZW 🇧🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3035369
Aktenzeichen: EP14198833
Anmeldetag: 18. Dezember 2014
Veröffentlichung: 25. November 2020
Erteilung: 25. November 2020
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/311H01L21/768

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: IMEC VZW
Land: 🇧🇪 Belgien

🇧🇪 imec

Imec ist ein belgisches Forschungszentrum mit Sitz in Leuven, das auf Nanoelektronik, Halbleitertechnologie und digitale Technologien spezialisiert ist.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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