Bearbeitungsmodul einer Vorrichtung zur Horizontalen und Nass-Chemischen Bearbeitung von Grossflächigen Substraten
Anmelder: MKS IP Association, Atotech Deutschland GmbH 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3035375
- Aktenzeichen
- EP14199222
- Anmeldetag
- 19. Dezember 2014
- Veröffentlichung
- 3. Mai 2017
- Erteilung
- 3. Mai 2017
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/67H01L21/677C03C17/00C23C18/16C23C18/38C23C18/18
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- MKS IP Association
Atotech Deutschland GmbH - Land
- 🇩🇪 Deutschland
Der Anmelder MKS IP Association ist eine in Deutschland ansässige Patentverwertungsgesellschaft. Das Portfolio konzentriert sich auf Metallurgie und Oberflächentechnik sowie Elektronik- und Halbleitertechnik, etwa im Bereich industrieller Reinigungs- und Beschichtungsprozesse. Anmeldungen erfolgten von 2000 bis 2020.
482 Patente in unserer Datenbank
Atotech Deutschland ist ein deutscher Anbieter von Oberflächenveredelungschemie, unter anderem für die Elektronik- und Halbleiterindustrie, und gehört zum US-Konzern MKS Instruments. Das Patentportfolio konzentriert sich deutlich auf Metallurgie und Oberflächentechnik, ergänzt durch Elektronik und Halbleitertechnik. Anmeldungen erstrecken sich von 2000 bis 2025.
545 Patente in unserer Datenbank
- (deleted)