Nächste-Nachbarn-Klassifikation-Verfahren und System zur Bereitstellung einer Multivariaten Analyse von Werkzeugprozessdaten

EP3036655 Art A1 29. Juni 2016

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3036655
Aktenzeichen: EP14838723
Anmeldetag: 21. August 2014
Veröffentlichung: 29. Juni 2016
Rechtsraum: EP
IPC: G05B23/02// G06F17/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Software & Datenverarbeitung Steuerungs- & Regelungstechnik

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