Pellikel
EP3037877
Art B1
19. Juni 2019
Anmelder: Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3037877
- Aktenzeichen
- EP15197716
- Anmeldetag
- 3. Dezember 2015
- Veröffentlichung
- 19. Juni 2019
- Erteilung
- 19. Juni 2019
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F1/00G03F1/64G03F1/62
Abstract
A pellicle is proposed in which a mask-bonding agglutinant layer, that bonds the pellicle to a photomask, is divided into segments, and the vacancies thus created between these segments are entirely occupied by segments of a non-resilient body layer, and these alternately arranged segments are flush with each other.
Anmelder
- Firma
- Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Shin-Etsu Chemical
Japanisches Chemieunternehmen mit Sitz in Tokio. Shin-Etsu Chemical stellt Siliziumwafer für Halbleiter, Silikonprodukte, PVC und weitere Spezialchemikalien für Elektronik-, Bau- und Industrieanwendungen her.
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