Kleber für ein Pellikel, Pellikel mit Verwendung Desselbigen und Verfahren zur Beurteilung von einem Pellikel
EP3037879
Art B1
31. Mai 2017
Anmelder: Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3037879
- Aktenzeichen
- EP15003172
- Anmeldetag
- 5. November 2015
- Veröffentlichung
- 31. Mai 2017
- Erteilung
- 31. Mai 2017
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F1/64
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Shin-Etsu Chemical
Japanisches Chemieunternehmen mit Sitz in Tokio. Shin-Etsu Chemical stellt Siliziumwafer für Halbleiter, Silikonprodukte, PVC und weitere Spezialchemikalien für Elektronik-, Bau- und Industrieanwendungen her.
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