Belichtungsvorrichtung und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtungen

EP3038138 Art B1 18. Juli 2018

Anmelder: Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3038138
Aktenzeichen: EP15196737
Anmeldetag: 26. Januar 2004
Veröffentlichung: 18. Juli 2018
Erteilung: 18. Juli 2018
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/027G03F7/20

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: Nikon Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

3.320 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

Vertreten von