Selectives Nitrid-Ätzen
EP3038142
Art A1
29. Juni 2016
Anmelder: LAM Research Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3038142
- Aktenzeichen
- EP15199363
- Anmeldetag
- 10. Dezember 2015
- Veröffentlichung
- 29. Juni 2016
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/311
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- LAM Research Corporation
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Lam Research
US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.
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Fachgebiete
Vertreten von
Kontrus, Gerhard
Villach, Österreich
229
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3
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