Zusammensetzungen und Verfahren zum Selektiven Ätzen von Titannitrid
Anmelder: Entegris, Inc., Entegris Asia LLC, Atmi Taiwan Co., Ltd., Advanced Technology Materials, Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3039098
- Aktenzeichen
- EP14840279
- Anmeldetag
- 28. August 2014
- Veröffentlichung
- 30. September 2020
- Erteilung
- 30. September 2020
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C09K13/00C09K13/06H01L21/3213H01L21/311
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Entegris, Inc.
Entegris Asia LLC
Atmi Taiwan Co., Ltd.
Advanced Technology Materials, Inc. - Land
- 🇺🇸 USA
US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.
1.106 Patente in unserer Datenbank
Der Anmelder ist ein US-amerikanischer Hersteller von Spezialchemikalien und Materialien für die Halbleiterindustrie, bekannt als ATMI, inzwischen Teil von Entegris. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter- und Elektrobauelemente sowie auf Verfahrens- und Trenntechnik, Metallurgie und Verpackungstechnik. Anmeldungen laufen seit dem Jahr 2000 durchgehend fort.
458 Patente in unserer Datenbank
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Greaves Brewster LLP
Greaves Brewster LLP · Cheddar