Zusammensetzungen und Verfahren zum Selektiven Ätzen von Titannitrid

EP3039098 Art B1 30. September 2020

Anmelder: Entegris, Inc., Entegris Asia LLC, Atmi Taiwan Co., Ltd., Advanced Technology Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Firmen: Entegris, Inc.
Entegris Asia LLC
Atmi Taiwan Co., Ltd.
Advanced Technology Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Entegris

US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.

899 Patente in unserer Datenbank

Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente

Vertreten von

ABG Patentes, S.L Madrid, Spanien

2.380

Patente gesamt

Fachgebiete

Anmelder-Länder

Schwerpunkte

Medizintechnik & Gesundheit Organische Chemie Pharma & Biotechnologie Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente Verfahrens- & Trenntechnik

Weitere Vertreter