Waferzerteilungsverfahren zur Erhöhung einer Chipverpackungsqualität

EP3039710 Art B1 29. September 2021

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3039710
Aktenzeichen
EP14839896
Anmeldetag
18. August 2014
Veröffentlichung
29. September 2021
Erteilung
29. September 2021
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/78H01L21/308
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Applied Materials, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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