Substrattransportvorrichtung

EP3039714 Art B1 22. März 2023

Anmelder: Brooks Automation US, LLC, Brooks Automation Holding, LLC, Brooks Automation, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3039714
Aktenzeichen
EP14766047
Anmeldetag
26. August 2014
Veröffentlichung
22. März 2023
Erteilung
22. März 2023
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/677
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Brooks Automation US, LLC
Brooks Automation Holding, LLC
Brooks Automation, Inc.
Land
🇺🇸 USA

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente
Vertreten von
Maupilier, Didier Bordeaux, Frankreich
194
Patente gesamt
30
Fachgebiete
6
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Luft- & Raumfahrttechnik Maschinenelemente & Fluidtechnik Kunststoff- & Polymertechnik Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Verpackungs- & Fördertechnik
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