Kühlstruktur für Elektromagnetische Spule und Elektromagnetisches Stellglied

EP3041006 Art B1 30. Januar 2019

Anmelder: CKD CORPORATION, NIKON CORPORATION, CKD Corporation, Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3041006
Aktenzeichen
EP14843006
Anmeldetag
4. September 2014
Veröffentlichung
30. Januar 2019
Erteilung
30. Januar 2019
Rechtsraum
EP
IPC
H01F7/06H01L21/027H02K41/02// H01F27/16H02K9/19H02K9/22H02K3/24H01F5/00H01F7/08
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
CKD CORPORATION
NIKON CORPORATION
CKD Corporation
Nikon Corporation
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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