Ätzverfahren

EP3041033 Art B1 18. Juli 2018

Anmelder: Tokyo Electron Limited 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3041033
Aktenzeichen: EP14839758
Anmeldetag: 18. August 2014
Veröffentlichung: 18. Juli 2018
Erteilung: 18. Juli 2018
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/311H01L21/027B82Y40/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Tokyo Electron Limited
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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