Vorrichtung zur Mikrowellenplasmaverarbeitung
EP3041324
Art B1
13. Mai 2020
Anmelder: National Institute of Advanced Industrial Science and Technology, National Institute Of Advanced Industrial Science 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3041324
- Aktenzeichen
- EP14839536
- Anmeldetag
- 29. August 2014
- Veröffentlichung
- 13. Mai 2020
- Erteilung
- 13. Mai 2020
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H05H1/30C23C16/511C23C16/513H01L21/3065H05H1/34H05H1/46C23C16/455H01J37/32
Abstract
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Anmelder
- Firmen
- National Institute of Advanced Industrial Science and Technology
National Institute Of Advanced Industrial Science - Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
National Institute of Advanced Industrial Science and Technology
Staatliches japanisches Forschungsinstitut (AIST), das breit angelegte angewandte Forschung in Bereichen wie Materialwissenschaft, Energie, Elektronik und Biotechnologie betreibt.
3.785 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Graf von Stosch, Andreas
München, Deutschland
1.079
Patente gesamt
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Fachgebiete
24
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Schwerpunkte