Behälter zur Lagerung einer Schutzfolie für Lithografie

EP3043207 Art B1 15. Februar 2017

Anmelder: Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3043207
Aktenzeichen: EP15197003
Anmeldetag: 30. November 2015
Veröffentlichung: 15. Februar 2017
Erteilung: 15. Februar 2017
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/20G03F1/62G03F1/64G03F1/66H01L21/673

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Shin-Etsu Chemical

Japanisches Chemieunternehmen mit Sitz in Tokio. Shin-Etsu Chemical stellt Siliziumwafer für Halbleiter, Silikonprodukte, PVC und weitere Spezialchemikalien für Elektronik-, Bau- und Industrieanwendungen her.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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