Ankerspule für ein Elektromagnetisches Stellglied, Elektromagnetisches Stellglied, Belichtungsvorrichtung und Vorrichtungsherstellungsverfahren

EP3043361 Art A1 13. Juli 2016

Anmelder: CKD Corporation, Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3043361
Aktenzeichen
EP14841524
Anmeldetag
4. September 2014
Veröffentlichung
13. Juli 2016
Rechtsraum
EP
IPC
H01F7/06H02K41/02H02K41/03H02K3/47H02K3/04
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
CKD Corporation
Nikon Corporation
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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