Substrat mit einer Beschichtung mit Geringer Durchlässigkeit zur Verfestigung von Silicium

EP3046895 Art A1 27. Juli 2016

Anmelder: Commissariat à l'Energie Atomique et aux Energies Alternatives 🇫🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3046895
Aktenzeichen: EP14780618
Anmeldetag: 12. September 2014
Veröffentlichung: 27. Juli 2016
Rechtsraum: EP
IPC: C04B41/87C04B41/89C30B11/00C30B15/10

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Commissariat à l'Energie Atomique et aux Energies Alternatives
Land: 🇫🇷 Frankreich

🇫🇷 CEA (Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives)

Französisches staatliches Forschungsinstitut mit Sitz in Paris (Verwaltung) und Standorten wie Grenoble und Saclay. Forscht in Kernenergie, erneuerbaren Energien, Mikroelektronik, Werkstoffwissenschaften, Verteidigungstechnik und Informationstechnologien.

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Fachgebiete

Anorganische Chemie & Werkstoffe Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von