Belichtungsvorrichtung und Belichtungsverfahren

EP3048637 Art B1 30. August 2017

Anmelder: Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3048637
Aktenzeichen: EP15199248
Anmeldetag: 20. April 2005
Veröffentlichung: 30. August 2017
Erteilung: 30. August 2017
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/027G03F9/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Nikon Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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