Ätzverfahren

EP3048638 Art A1 27. Juli 2016

Anmelder: Tokyo Electron Limited 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3048638
Aktenzeichen: EP14846557
Anmeldetag: 2. September 2014
Veröffentlichung: 27. Juli 2016
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/308H01L21/033B82Y40/00// H01L21/3065

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Tokyo Electron Limited
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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