Verfahren zur Vorhersage des Verzugs in Monokristallinem Siliziumcarbid-Wafer

EP3048641 Art B1 9. März 2022

Anmelder: Showa Denko K.K., Nippon Steel & Sumikin Materials Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3048641
Aktenzeichen: EP14845966
Anmeldetag: 30. Mai 2014
Veröffentlichung: 9. März 2022
Erteilung: 9. März 2022
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/66C30B23/00C30B29/36C30B33/00G01N21/65G01N21/95

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Showa Denko K.K.
Nippon Steel & Sumikin Materials Co., Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Showa Denko

Japanisches Chemieunternehmen mit Sitz in Tokio, seit 2023 als Resonac Holdings firmierend. Aktiv in Petrochemie, Elektronikmaterialien, Batteriematerialien sowie Halbleiterchemikalien.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Metallurgie & Oberflächentechnik

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