Piezoelektrisches Dünnschichtbauelement sowie Aktuator, Sensor, Festplattenlaufwerk und Tintenstrahldrucker mit einem Solchen Bauelement
EP3048652
Art B1
1. Juli 2020
Anmelder: TDK Corporation 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3048652
- Aktenzeichen
- EP16152575
- Anmeldetag
- 25. Januar 2016
- Veröffentlichung
- 1. Juli 2020
- Erteilung
- 1. Juli 2020
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L41/047H01L41/08
Abstract
A piezoelectric element is proposed comprising a piezoelectric thin film (3), preferably of potassium sodium niobate, sandwiched between a pair of electrode layers (2, 4) composed of platinum (Pt). Oxide particles are contained in at least one of the electrode layers, the particles being oxides of Pt or at least one element constituting the piezoelectric thin film, preferably PtO2, NaNbO3, KNbO3, or Nb2O5.
Anmelder
- Firma
- TDK Corporation
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
TDK Corporation
TDK Corporation ist ein japanischer Hersteller elektronischer Bauteile, bekannt für Kondensatoren, Sensoren, Batterien und Magnetwerkstoffe.
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