Evakuierung einer Folienkammer

EP3049787 Art B1 24. Oktober 2018

Anmelder: Inficon GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3049787
Aktenzeichen
EP14766464
Anmeldetag
15. September 2014
Veröffentlichung
24. Oktober 2018
Erteilung
24. Oktober 2018
Rechtsraum
EP
IPC
G01M3/22G01M3/20F04B41/06
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Inficon GmbH
Land
🇩🇪 Deutschland
🇩🇪 Inficon

Inficon ist ein Hersteller von Mess- und Analysegeräten für Vakuum- und Gasanwendungen mit Wurzeln in der Schweiz. Das Patentportfolio konzentriert sich stark auf Mess- und Prüftechnik, ergänzt durch Halbleiter- und Metallurgietechnik. Die Titel betreffen unter anderem Bildverarbeitung für die Prozessendpunkterkennung und Sprühvorrichtungen für Prüfgas.

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