Verfahren zur Dual-Tone Entwicklung auf Basis Organischer Lösungsmittel unter Verwendung von Sulfonsäureestern Enthaltende Photolacke

EP3049868 Art B1 11. September 2019

Anmelder: International Business Machines Corporation, JSR Corporation 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3049868
Aktenzeichen: EP14848594
Anmeldetag: 23. Juli 2014
Veröffentlichung: 11. September 2019
Erteilung: 11. September 2019
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/038G03F7/039G03F7/32G03F7/004G03F7/40G03F7/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: International Business Machines Corporation
JSR Corporation
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 IBM

US-amerikanischer Technologiekonzern mit Sitz in Armonk, New York. International Business Machines entwickelt Hardware, Software, Cloud-Dienste sowie Lösungen für künstliche Intelligenz, Halbleiter und Unternehmens-IT.

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🇯🇵 JSR Corporation

JSR Corporation ist ein japanisches Chemieunternehmen, das synthetische Kautschuke sowie Materialien für die Halbleiter- und Displayindustrie herstellt.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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