Reinigungsvorrichtung und Reinigungsverfahren

EP3051581 Art B1 2. Mai 2018

Anmelder: Murata Machinery, Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3051581
Aktenzeichen: EP14847750
Anmeldetag: 17. Juli 2014
Veröffentlichung: 2. Mai 2018
Erteilung: 2. Mai 2018
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/673H01L21/677H01L21/67G01N33/00G05D7/06

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Murata Machinery, Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Murata Machinery

Japanischer Maschinenbauer (Marke Muratec) mit Schwerpunkt auf Textilmaschinen, Logistiksystemen und Werkzeugmaschinen, nicht zu verwechseln mit Murata Manufacturing.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Steuerungs- & Regelungstechnik

Vertreten von