Geladenes Teilchenstrahlsystem und Verfahren zum Betrieb davon
EP3053183
Art B1
7. November 2018
Anmelder: Carl Zeiss Microscopy GmbH, Applied Materials Israel, Ltd. 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3053183
- Aktenzeichen
- EP14781067
- Anmeldetag
- 30. September 2014
- Veröffentlichung
- 7. November 2018
- Erteilung
- 7. November 2018
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01J37/28
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Carl Zeiss Microscopy GmbH
Applied Materials Israel, Ltd. - Land
- 🇩🇪 Deutschland
🇩🇪
Carl Zeiss Microscopy GmbH
Deutscher Hersteller von Mikroskopen und Bildgebungssystemen für Forschung und Industrie, Teil der Zeiss-Gruppe.
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Fachgebiete
Vertreten von
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Diehl & Partner
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