Vorrichtung und Verfahren zur Kontinuierlichen Herstellung Poröser Siliciumschichten

EP3053186 Art B1 26. Mai 2021

Anmelder: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3053186
Aktenzeichen: EP14776891
Anmeldetag: 29. September 2014
Veröffentlichung: 26. Mai 2021
Erteilung: 26. Mai 2021
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/67H01L21/677C25F3/12C25F3/14C25F7/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Fraunhofer-Gesellschaft

Deutsche gemeinnützige Forschungsorganisation mit Sitz in München. Betreibt anwendungsorientierte Forschung in Technik und Naturwissenschaften über zahlreiche Institute für Industrie und Gesellschaft.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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