Polierzusammensetzung und Herstellungsverfahren dafür
EP3053978
Art B1
6. November 2019
Anmelder: Fujimi Incorporated 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3053978
- Aktenzeichen
- EP14848277
- Anmeldetag
- 22. September 2014
- Veröffentlichung
- 6. November 2019
- Erteilung
- 6. November 2019
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C09K3/14B24B37/00H01L21/304C09G1/04
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Fujimi Incorporated
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Fujimi
Fujimi ist ein japanischer Hersteller von Poliermitteln, vor allem für die Halbleiterindustrie. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Farben und Klebstoffe sowie Halbleiterbauelemente und Fertigungstechnik. Anmeldungen sind seit 2000 dokumentiert.
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