Polierzusammensetzung und Herstellungsverfahren dafür

EP3053978 Art B1 6. November 2019

Anmelder: Fujimi Incorporated 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3053978
Aktenzeichen
EP14848277
Anmeldetag
22. September 2014
Veröffentlichung
6. November 2019
Erteilung
6. November 2019
Rechtsraum
EP
IPC
C09K3/14B24B37/00H01L21/304C09G1/04
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
Fujimi Incorporated
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Fujimi

Fujimi ist ein japanischer Hersteller von Poliermitteln, vor allem für die Halbleiterindustrie. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Farben und Klebstoffe sowie Halbleiterbauelemente und Fertigungstechnik. Anmeldungen sind seit 2000 dokumentiert.

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