Vorrichtung und Verfahren zur Molekularen Druckdifferenzialspektroskopie für Komprimierbare Fluide

EP3055670 Art A1 17. August 2016

Anmelder: MKS Instruments, Inc., Pason Systems Corp. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3055670
Aktenzeichen: EP14792936
Anmeldetag: 10. Oktober 2014
Veröffentlichung: 17. August 2016
Rechtsraum: EP
IPC: G01N21/35G01N33/22G01N21/31G01N21/05G01N21/3504G01N21/359G01N21/3518

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: MKS Instruments, Inc.
Pason Systems Corp.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 MKS Instruments

MKS Instruments ist ein US-amerikanischer Hersteller von Prozesssteuerungs- und Messinstrumenten für die Halbleiterfertigung mit Sitz in Massachusetts. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Mess- und Prüftechnik, ergänzt um Steuerungstechnik. Anmeldungen decken den Zeitraum 2000 bis 2025 ab.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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