Polarisationsunabhängiges Interferometer
EP3055737
Art A1
17. August 2016
Anmelder: ASML Netherlands B.V., ASML Holding N.V. 🇳🇱
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3055737
- Aktenzeichen
- EP14766961
- Anmeldetag
- 11. September 2014
- Veröffentlichung
- 17. August 2016
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F9/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- ASML Netherlands B.V.
ASML Holding N.V. - Land
- 🇳🇱 Niederlande
🇳🇱
ASML
Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.
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Fachgebiete
Vertreten von
Maas, Abraham Johannes
Veldhoven, Niederlande
118
Patente gesamt
10
Fachgebiete
1
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Schwerpunkte