Optische Positionsmesseinrichtung

Details

Veröffentlichungs-Nr.

EP3059554

Aktenzeichen

EP16154260

Anmeldetag

4. Februar 2016

Veröffentlichung

30. August 2017

Erteilung

30. August 2017

Rechtsraum

EP

IPC

G01D5/38

Abstract

Die vorliegende Erfindung betrifft eine optische Positionsmesseinrichtung zur Erfassung der Position von zwei relativ zueinander beweglichen Objekten. Sie umfasst eine Maßverkörperung, die mit einem der beiden Objekte verbunden ist und eine Messteilung mit einer periodischen Anordnung von Teilungsbereichen entlang mindestens einer ersten Teilungsrichtung aufweist. Ferner umfasst die Positionsmesseinrichtung eine Abtasteinheit mit mehreren optischen Elementen, die beweglich relativ zur Maßverkörperung angeordnet ist. Über die Anordnung und Ausbildung der optischen Elemente der Abtasteinheit resultiert ein Abtaststrahlengang, in dem zur Interferenz gelangende Teilstrahlenbündel in Bezug auf eine Symmetrieebene spiegelsymmetrisch propagieren und entweder V-förmig auf die Maßverkörperung einfallen und/oder eine V-förmige Rückreflexion von der Maßverkörperung erfahren. Die Symmetrieebene ist um einen definierten Kippwinkel um eine Drehachse verkippt, welche parallel zur Oberfläche der Maßverkörperung orientiert ist und sich senkrecht zur ersten Teilungsrichtung erstreckt (Fig. 2a).

Anmelder

Firma

Dr. Johannes Heidenhain GmbH

Land

🇩🇪 Deutschland

Fachgebiete