Verfahren zur Selektiven Behandlung von Kupfer in Gegenwart eines Weiteren Metalls

EP3060696 Art B1 25. Dezember 2019

Anmelder: MKS IP Association, Atotech Deutschland GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3060696
Aktenzeichen
EP14784069
Anmeldetag
14. Oktober 2014
Veröffentlichung
25. Dezember 2019
Erteilung
25. Dezember 2019
Rechtsraum
EP
IPC
C23F1/18C23C18/18C23C18/54C23F1/34C23F1/44C23G1/10H01L21/3213H05K3/06H05K3/38C11D11/00C23G1/20
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
MKS IP Association
Atotech Deutschland GmbH
Land
🇩🇪 Deutschland
🇩🇪 MKS IP Association

Der Anmelder MKS IP Association ist eine in Deutschland ansässige Patentverwertungsgesellschaft. Das Portfolio konzentriert sich auf Metallurgie und Oberflächentechnik sowie Elektronik- und Halbleitertechnik, etwa im Bereich industrieller Reinigungs- und Beschichtungsprozesse. Anmeldungen erfolgten von 2000 bis 2020.

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🇩🇪 Atotech Deutschland

Atotech Deutschland ist ein deutscher Anbieter von Oberflächenveredelungschemie, unter anderem für die Elektronik- und Halbleiterindustrie, und gehört zum US-Konzern MKS Instruments. Das Patentportfolio konzentriert sich deutlich auf Metallurgie und Oberflächentechnik, ergänzt durch Elektronik und Halbleitertechnik. Anmeldungen erstrecken sich von 2000 bis 2025.

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