Walze zum Walzen von Maskenloser Lithografie mit Aktiver Ausrichtung

EP3061120 Art A1 31. August 2016

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3061120
Aktenzeichen: EP14855840
Anmeldetag: 24. September 2014
Veröffentlichung: 31. August 2016
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/24H01L21/02H01L51/56H01L27/32G03F7/20G03F9/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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