Verfahren zur Herstellung eines Gemusterten Films, Verfahren zur Herstellung einer Optischen Komponente, Verfahren zur Herstellung eines Integrierten Schaltungselements, Verfahren zur Herstellung einer Elektronischen Komponente, und Verfahren zur Herstellung eines Reliefmusters

EP3061121 Art B1 28. August 2019

Anmelder: Canon Kabushiki Kaisha 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3061121
Aktenzeichen: EP14847055
Anmeldetag: 22. September 2014
Veröffentlichung: 28. August 2019
Erteilung: 28. August 2019
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/027B29C59/02G03F7/027G03F7/038G03F7/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Canon Kabushiki Kaisha
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Canon

Japanischer Konzern mit Sitz in Tokio, der Kameras, Objektive, Drucker, Kopiergeräte sowie optische und medizinische Bildgebungstechnik entwickelt und herstellt.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Kunststoff- & Polymertechnik Optik & Fototechnik

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